{"id":14,"date":"2023-06-19T15:38:20","date_gmt":"2023-06-19T06:38:20","guid":{"rendered":"http:\/\/app003.xsrv.jp\/kindai-u-fujita\/?page_id=14"},"modified":"2024-06-21T17:35:14","modified_gmt":"2024-06-21T08:35:14","slug":"research","status":"publish","type":"page","link":"https:\/\/app003.xsrv.jp\/kindai-u-fujita\/research\/","title":{"rendered":"\u7814\u7a76\u30c6\u30fc\u30de"},"content":{"rendered":"\n
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\u305d\u3053\u3067\u3001\u6975\u3081\u3066\u9ad8\u3044\u5f37\u5ea6\u3068\u786c\u5ea6\u3092\u6709\u3059\u308bPCD(Poly-Crystalline Diamond)\u3092\u5207\u308a\u51fa\u3057\u3066\u3001\u4e00\u4f53\u306e\u6975\u8584\u30d6\u30ec\u30fc\u30c9\u3068\u3059\u308b\u9769\u65b0\u7684\u306a\u30d6\u30ec\u30fc\u30c9\u3092\u958b\u767a\u3057\u307e\u3057\u305f\u3002(PCD \u3068\u306f\u3001\u30c0\u30a4\u30e4\u30e2\u30f3\u30c9\u7c92\u5b50\u540c\u58eb\u3092\u9ad8\u5bc6\u5ea6\u306b\u5727\u7e2e\u7d50\u5408\u3055\u305b\u305f\u591a\u7d50\u6676\u30c0\u30a4\u30e4\u30e2\u30f3\u30c9\u7d20\u6750\u306e\u3053\u3068\u3002)<\/p>\n\n\n\n
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\u3053\u306ePCD\u30d6\u30ec\u30fc\u30c9\u3067\u306f\u3001\u9ad8\u5f37\u5ea6\u306e\u8d85\u786c\u5408\u91d1\u306b\u5e45 20\u00b5m\uff0c\u6df1\u3055 1mm \u306e\u8d85\u9ad8\u30a2\u30b9\u30da\u30af\u30c8\u6bd4\u306e\u6e9d\u52a0\u5de5\u3092\u5b9f\u73fe\u3057\u307e\u3057\u305f\u3002<\/p>\n\n\n\n
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\u307e\u305f\u3001PCD\u3067\u69cb\u6210\u3055\u308c\u308b\u30d6\u30ec\u30fc\u30c9\u306f\u3001\u3082\u3046\u4e00\u3064\u5927\u304d\u3044\u7279\u5fb4\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002<\/p>\n\n\n\n
PCD(Poly-Crystalline Diamond)\u306f\u3001\u30c0\u30a4\u30e4\u30e2\u30f3\u30c9\u7c92\u5b50\u540c\u58eb\u3092\u9ad8\u5bc6\u5ea6\u306b\u5727\u7e2e\u7d50\u5408\u3055\u305b\u305f\u591a\u7d50\u6676\u30c0\u30a4\u30e4\u30e2\u30f3\u30c9\u3067\u3042\u308b\u305f\u3081\u3001PCD\u306b\u5f62\u6210\u3057\u305f\u51f9\u51f8\u306f\u3001\u3059\u3079\u3066\u5207\u308c\u5203\u3068\u3057\u3066\u6a5f\u80fd\u3057\u307e\u3059\u3002\u3059\u306a\u308f\u3061\u3001\u975e\u5e38\u306b\u9ad8\u5bc6\u5ea6\u306a3\u6b21\u5143\u7684\u306a\u5207\u308c\u5203\u3092\u5f62\u6210\u3057\u3001\u9ad8\u5bc6\u5ea6\u3067\u3042\u308b\u304c\u3086\u3048\u306b\u3001\u5207\u308c\u5203\u306e\u9593\u9694\u306f\u3001\u307b\u307c\u4e00\u69d8\u306b\u63c3\u3044\u307e\u3059\u3002<\/p>\n\n\n\n
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\u7814\u78e8\u30d1\u30c3\u30c9<\/p>\n\n\n\n \u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306b\u304a\u3044\u3066\u3001CMP(Chemical Mechanical Planarization)\u6280\u8853\u306f\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u7d20\u5b50\u306e\u591a\u5c64\u914d\u7dda\u69cb\u9020\u3092\u5f62\u6210\u3059\u308b\u4e0a\u3067\u3001\u5fc5\u9808\u306e\u5de5\u7a0b\u306e\u4e00\u3064\u3067\u3059\u3002<\/p>\n\n\n\n CMP\u6280\u8853\u3068\u306f\u3001\u5316\u5b66\u7684\u6a5f\u68b0\u7814\u78e8\u6280\u8853\u306e\u3053\u3068\u3002\u30b9\u30e9\u30ea\u30fc\u3068\u547c\u3070\u308c\u308b\u7814\u78e8\u5264(\u5fae\u7c92\u5b50\u3092\u542b\u3080\u5316\u5b66\u6db2)\u3092\u3001\u767a\u6ce1\u30dd\u30ea\u30a6\u30ec\u30bf\u30f3\u3067\u69cb\u6210\u3055\u308c\u308b\u7814\u78e8\u30d1\u30c3\u30c9\u306e\u4e0a\u306b\u4f9b\u7d66\u3057\u306a\u304c\u3089\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u306e\u8868\u9762\u3092\u64e6\u308a\u5408\u308f\u305b\u308b\u3053\u3068\u3067\u534a\u5c0e\u4f53\u306e\u8868\u9762\u3092\u7cbe\u5bc6\u306b\u7814\u78e8\u3057\u307e\u3059\u3002<\/p>\n\n\n\n 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GaN\u57fa\u677f\u3001SiC\u57fa\u677f\u306e\u93e1\u9762\u7814\u78e8\u6280\u8853\u30fb\u8a55\u4fa1\u6280\u8853\u306e\u7814\u7a76\u958b\u767a<\/h3>\n\n\n\n
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