近畿大学理工学部機械工学科
近畿大学大学院総合理工学研究科メカニックス系工学専攻
先端加工システム工学研究室 (藤田研究室)

令和5年度成長型中小企業等研究開発支援事業(GoTech事業)に採択

昭和工業株式会社とともに共同開発しているCMPパッド用のブラシ型研削板が、経済産業省近畿経済産業局の令和5年度成長型中小企業等研究開発支援事業(GoTech事業)に採択されました。
「半導体復活のためにサプライチェーンを強化するブラシ型研削板によるCMPパッド研削技術の研究開発」
https://www.kansai.meti.go.jp/3-5sangyo/sapoin/2023/kinki_saitaku_tsujyo_R5.pdf

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