近畿大学理工学部機械工学科
近畿大学大学院総合理工学研究科メカニックス系工学専攻先端加工システム工学研究室　(藤田研究室)

発表内容

  • 小西遥大, 藤田 隆
    PCDブレード工具による樹脂材料へのマイクロ流路形成技術に関する研究 
    日本機械学会関西学生会2021年度卒業研究発表講演会
    2022年3月15日
  • 伊藤琢朗, 藤田 隆
    CMP研磨パッドにおける幾何学的・化学的特性の研究 
    日本機械学会関西学生会2021年度学生員卒業研究発表講演会
    2022年3月15日
  • 岡本海太, 藤田 隆
    ファイバーコンディショナーによるパッド表面基準コンディショニング技術の開発
    日本機械学会関西学生会2021年度学生員卒業研究発表講演会
    2022年3月15日
  • Haruto KONISHI, Takashi FUJITA, Yasuo IZUMI, Kouji WATANABE, Daisuke YANAGIDA, Hisashi MINAMI, Junji WATANABE, Study of fine groove machining using PCD(Poly-crystalline diamond) blade tool, Proceedings of 19th International Conference on Precision Engineering, Nov.28(Mon.)-Dec.2(Fri.) , 2022 Nara , Japan, C055
  • Takuro ITO, Takashi FUJITA, Hirokuni HIYAMA, Yutaka WADA and Naoyuki HANDA, Study of polishing mechanism by chemical properties of polishing pad in oxide Chemical-Mechanical Planarization,
    Proceedings of 19th International Conference on Precision Engineering, Nov.28(Mon.)-Dec.2(Fri.) , 2022 Nara , Japan, C056
  • 小西遥大,藤田　隆,福永涼太,和泉康夫,渡邉純二, PCDブレード工具による微細加工技術に関する研究, 2023年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, pp.248-249, C09
  • 伊藤琢朗,藤田　隆,米本魁人,檜山浩國,和田雄高,安田穂積,半田直廉,
    酸化膜CMPにおける研磨パッド表面状態の幾何学的かつ化学的な定量化の研究, 2023年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, pp.781-782, G91
  • 岡本海太，藤田　隆，半導体ＣＭＰ装置におけるパッドコンディショニング技術の開発，精密工学会2023年度関西地方定期学術講演会講演論文集, P.66-67
PAGE TOP