精密工学会関西支部学術講演会が京都リーガロイヤルホテルで開催されました。 当研究室から、M2岡本海太君がポスター発表しました。
岡本海太，藤田 隆，半導体ＣＭＰ装置におけるパッドコンディショニング技術の開発，精密工学会２０２３年度関西地方定期学術講演会講演論文集,P.66-67
岡本海太，藤田 隆，半導体ＣＭＰ装置におけるパッドコンディショニング技術の開発，精密工学会２０２３年度関西地方定期学術講演会講演論文集,P.66-67
