近畿大学理工学部機械工学科
近畿大学大学院総合理工学研究科メカニックス系工学専攻
先端加工システム工学研究室 (藤田研究室)

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情報通信分野、太陽光発電などの環境分野、そして最近は経済安全保障の分野においても、半導体は、ますます重要になってきています。半導体の製造に代表される高度なものづくり技術を支えているのは、他ならぬ「高度な精密加工技術」に相違ありません。私たち先端加工システム工学研究室では、多くの企業と有機的に連携して、次世代半導体の精密切断・微細溝入れ技術や半導体の精密研磨技術など、今後ますます必要とされる「高度な精密加工技術」の難題に積極的に挑戦し、解決することを目指します。

お知らせ


3月4日、5日 引継ぎ会
3月4日、5日と二日に渉って、M2生から新たに来る3年生まで一堂に会して研究引継ぎ会を行いました。4日には、懇親会を開いて楽しみました。

総合理工マスターズ
総合理工マスターズが開催され、当研究室からは、M1:福永涼太君、M1:米本魁人君がポスター発表しました。

修士論文公聴会・卒業研究発表会

新しくホームページを立ち上げました。
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精密工学会関西支部学術講演会が京都リーガロイヤルホテルで開催されました。 当研究室から、M2岡本海太君がポスター発表しました。
岡本海太,藤田 隆,半導体CMP装置におけるパッドコンディショニング技術の開発,精密工学会2023年度関西地方定期学術講演会講演論文集,P.66-67
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経済産業省近畿経済産業局のGoTech事業に採択されました。
「半導体復活のためにサプライチェーンを強化するブラシ型研削板によるCMPパッド研削技術の研究開発」
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技術情報協会のセミナー「CMPプロセスの設計と高精度、安定化技術」で、教員:藤田が以下の題目で講演しました。
CMPプロセスの高精度化、安定化に向けた要素技術とパッドコンディショニング技術の展望 13:00~14:30

M2:小西遥大君がマザック高度生産システム優秀論文賞の授賞し、ヤマザキマザック株式会社で行われた授賞式に出席しました。
授賞式では、賞状・副賞(金一封)の授与、ヤマザキマザック社の工場見学、そして立食パーティなどが催されました。
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新4年生6名が、正式に当研究室に入室しました。 ガイダンスを終え、これから、様々な実験装置、測定装置の使い方を覚えて実験します。(新4年生)
泉谷悠綺, 市川裕貴,尾崎将太,橋本治樹,橋本悠暉,堀 嶺太郎 

某大手半導体装置メーカ様へ会社見学に伺いました(教員1名、学生3名)。
実際の半導体製造装置である300mm対応半導体CMP装置システムを見せて頂きました。 大変勉強になり、ありがとうございました。

オープンキャンパスが開催され、当研究室が出展しました。
雨の中にもかかわらず、38号館6Fの当研究室に、100人あまりの来場者がありました。ありがとうございます。

精密工学会春季大会が東京理科大学葛飾キャンパスで開催されました。
当研究室から、M1小西君、M1伊藤君がそれぞれ口頭発表しました。

学内理工マスターズが開催され、M1小西君、M1伊藤君、M1岡本君がそれぞれポスター発表しました。
M1:小西遥大君が優秀ポスター賞を受賞しました。

卒業研究発表会があり、卒研生B4の6名が卒研発表しました。
八木優斗君が、ベストプレゼンテーション賞を受賞しました。

天田財団の研究助成に採択され、助成式に出席しました。

International Conference of Precision Engineering2022が奈良で開催され、M1伊藤君とM1小西君がそれぞれ英語にて口頭発表しました。
この時、M1小西君が発表した講演論文は、後日マザック高度生産システム優秀論文賞を受賞しました。

大澤科学技術振興財団の研究助成に採択され、助成式に出席しました。
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